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首页 > 产品展示 > Malema> 精準質高的流量控制
 
 
 
Malema sensors
Malema sensors 在半导 体及电子产业中广泛应用于研磨浆料(CMP Slurry),表面活性剂(Surfactants),高纯度 和腐蚀性的化学品(Highly corrosive chemicals),多样性密度流体(Varying density and viscosity)的测量和控制。其中为 因应下个世代的高精度制程要求,研发并 量产了高精度的各项产品线 Coriolis Mass Flow Controller/ Ultrasonic Flow Controller/Dispense Verification Meter/Interconnect Interlock Device/Flow Switches….
 
Coriolis Mass Flow Controller/Meter
Malema CPFM-8800/CMFC-9000/CMFC-5000 series利用科 氏力原理测量并控制流体,精确的控制各种 腐蚀性/多样性密度流体/混气泡 或易生气泡流体 稳定长效的控制于 1% of rate 的流量精度。同时也 是业界唯一具备 PFA material 的 Coriolis sensor。
 
Ultrasonic Flow Controller/Meter
MFC8100/LFC7000 series 为现行 各机台制造商的内置标配. 除了产 品的稳定及精确的控制表现获客户的肯定和信赖。Malema 亦可弹 性提供产品升级调整,配合客 户新应用制程的需求。
 
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